在半导体制造的精密赛道上，每一步制程突破都离不开底层技术的硬核支撑。作为实现晶圆全局平坦化的核心工艺，化学机械抛光（CMP）是先进集成电路前道工序与先进封装（如 CoWoS）的“咽喉环节”——其纳米级的表面平坦化效果，直接关联芯片良率与性能。

当国产CMP设备成功突破14nm工艺制程，菲尼克斯电气以百年连接技术积淀，为每一台设备注入高可靠基因，保障研磨压力、转速、平坦度等关键参数的稳定输出，助力先进制程落地。

针对CMP设备高密度布局、高洁净要求、强稳定性需求，菲尼克斯电气PT系列直插式导轨接线端子凭借Push-in弹簧连接技术，成为某知名半导体设备制造商的优选方案，三大核心模块精准适配设备复杂连接场景：

PTIO传感器/执行器端子

PTIO外形紧凑，位数配置灵活。与传统方案相比大量使用可减少50%物料数量，节省60%以上的柜内空间。

▸   Push-in直插技术，高效可靠安装

▸   单片3.5mm可连接3线或4线制传感器和执行器，节省空间

▸   模块化扩展至最多50位

▸   LED状态显示，标识类型齐全

PTFIX电位分配模块

可提供不同接线容量、位数、安装方式和颜色，满足柜内大量的电位分配需求，同时减少物料数量以及空间占用。模块可以直接使用或按需扩展。

▸   单模块内部电位相同，至多减少90%的物料数量

▸   体积紧凑，可节省至少30%的导轨宽度

▸   安装灵活，多种适配器和自黏式安装型号

▸   匹配CLIPLINE complete附件系统

PTFIX电位分配模块

可提供不同接线容量、位数、安装方式和颜色，满足柜内大量的电位分配需求，同时减少物料数量以及空间占用。模块可以直接使用或按需扩展。

▸   单模块内部电位相同，至多减少90%的物料数量

▸   体积紧凑，可节省至少30%的导轨宽度

▸   安装灵活，多种适配器和自黏式安装型号

▸   匹配CLIPLINE complete附件系统

PTU电位分配端子

紧凑设计和正面接线使得可在密闭空间内进行接线。支持35mm²螺钉进线，4x10mm²直插式出线、4x6mm²+6x2,5mm²出线的不同组合，而且可以与支持CLIPLINE complete附件的导轨端子进一步扩展。

▸   采用不同的连接方式，同时满足内外部接线要求

▸   全封闭结构，无需额外端板，减少物料数量

▸   灵活的桥接，适用统一的CLIPLINE complete附件

▸   螺钉侧适配AGK分线附件

除PT系列端子外，菲尼克斯电气可提供开关电源、设备断路器、EMC滤波器等配套的紧凑化产品方案。